رسوب شیمایی بخار و رسوب فیزیکی بخار روشهای کاربردی در کلیه علوم هستند که با توجه به گسترش فناوریها و
مخصوصاً صنایع الکترونیک و مدارهای مجتمع، بهکارگیری این روشهای بخار بهصورت فراوان در ساخت قطعات نیمههای میباشد.
در این گزارش بهصورت مختصر به رسوبشیمیایی بخار پرداختهشده است.
