رسوب شیمایی بخار و رسوب فیزیکی بخار روشهاي کاربردي در کلیه علوم هستند که با توجه به گسترش فناوريها و مخصوصاً
صنایع الکترونیک و مدارهاي مجتمع، بهکارگیري این روشهاي بخار بهصورت فراوان در ساخت قطعات نیمههاي میباشد. در این
گزارش بهصورت مختصر به رسوبشیمیایی بخار پرداختهشده است.
